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半導體專用真空烘箱

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半導體專用新型真空烘箱，升溫降溫可控，實時監(jiān)測氧含量濃度，負壓內(nèi)微循環(huán)，自主研發(fā)全套臺達PLC控制系統(tǒng)

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左右兩腔式半導體專用真空烘箱低真空加脈沖

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