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光刻膠專用脫泡烘箱

本設(shè)備適用于芯片、航空、汽車、工礦企業(yè)、家電、實驗室、科研單位及 大專院校等領(lǐng)域?qū)ζ洚a(chǎn)品及材料進行高溫烘烤、溫度度干燥、低真空密封 試驗、無氧處理,高溫去應(yīng)力、高溫固化等應(yīng)用。


光刻膠專用脫泡烘箱

技術(shù)參數(shù): 

 

應(yīng)用領(lǐng)域

本設(shè)備適用于芯片、航空、汽車、工礦企業(yè)、家電、實驗室、科研單位 大專院校等領(lǐng)域?qū)ζ洚a(chǎn)品及材料進行高溫烘烤、溫度度干燥、低真空密封 驗、無氧處理,高溫去應(yīng)力、高溫固化等應(yīng)用。

 

工作原

作屏設(shè)定工作溫度值,保溫時間設(shè)置、溫度與時間自動保持,手動抽氣 空度值,手動解除真空閥。

產(chǎn)品名稱

光刻膠專用脫泡烘箱

控溫范

RT+15~100

度分辨率

±0.1℃

度波動度

±0.3℃

感器精度

±0.1℃

空度控制范圍

0.1MPa

設(shè)計殘余真空度

50Pa

真空壓力定

械相對壓力

真空解

立的機械手動閥門解除真空

:解除真空可采用進入空氣也可選用氮氣進入解除

氣流量控制

1~l0L/min 手動可調(diào)

氣進氣控制

腔體左側(cè)面靠前進氣,采用KF 鏡面不銹鋼內(nèi)部焊接轉(zhuǎn)接寶塔 10mm 配硅 連接過濾器進入腔體內(nèi)

氣口控制

設(shè)計不銹鋼球閥,抽氣在腔體左側(cè)靠前采用KF 接頭內(nèi)部焊接后轉(zhuǎn)寶塔 連接硅膠

主溫度控制器

高精度微電腦液晶控溫儀,采用PID與經(jīng)驗值模糊控制技術(shù),控溫精確、 工作溫度與運行時間任意設(shè)定

空度形成用時

 5 分鐘

空度解除用時

 5 分鐘

箱體結(jié)構(gòu)

采用式結(jié)構(gòu)設(shè)計,右面為高溫真空腔體,左箱為電器控制系統(tǒng),腔體內(nèi) 三層可活動托盤、真空泵獨立、腔體內(nèi)設(shè)有抽氣口、氮氣進氣口。

殼材料

優(yōu)質(zhì)冷軋板噴涂處理

內(nèi)膽材料

優(yōu)質(zhì)SUS304 厚度 3mm 鏡面不銹鋼板,內(nèi)部圓滑滿焊,表面電解拋光處理噴 涂四


 

箱門結(jié)構(gòu)

1、不銹鋼板連接制成 (鋼化玻璃觀察窗功能)

2、手動緊迫鎖

門封材

箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),內(nèi)膽邊采用嵌入槽式結(jié)構(gòu),整體成型日本進口 T  本色硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度,潔凈度無脫落

溫材料

高溫硅酸鋁纖維棉

感器

高溫 PT100 型熱電偶置于內(nèi)膽后壁

 

 

 

護與警報裝置

立超溫報警切斷加熱電源

電保護

流檢測

地等保護

熱方式

外部綁式加熱 (304 不銹鋼型加熱管)

  

特氟龍開孔板,孔徑 10mm,將樣品直接擺放,最大負(fù)載 5Kg

 

 

 

真空系統(tǒng)

1、抽氣能力4L/S/1 臺渦旋干泵 (可以同時抽氣兩臺真空腔體)

2、廢氣連接管

3、放氣與進氣電磁閥件

4、抽氣壓差閥件

5、雜物過濾裝置

6、硅膠負(fù)壓抽氣管

熱功率

1.4KW

空泵功率

0.75KW (220V 電源)

空箱電源

AC220V/50HZ 單相三線制

設(shè)備自重 85Kg


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

關(guān)鍵工藝

1、內(nèi) 304 不銹鋼內(nèi)外圓弧滿焊接后電解處理表面

2、外殼體電解處理表面

3、外加強筋緊固件 304 材質(zhì)

4、殼體安裝過后再解體清理所有安裝鐵屑與灰塵

5、外部加熱器采用不銹鋼 304 材質(zhì)

6、潔凈鋼化玻璃門

7、不銹鋼螺絲與不銹鋼鉸鏈

8、不銹鋼拉手門鎖

9、腔體內(nèi) 316 導(dǎo)條固定螺栓

10、導(dǎo)條固定尼龍螺母

11、特氟龍 L 型導(dǎo)條

12、特氟龍厚度 15mm 開孔物品托盤

13、抽氣閥 316 不銹鋼

14、進氣閥 316 不銹鋼

15、優(yōu)質(zhì)本色硅膠負(fù)壓管路

16、嵌槽式密封圈結(jié)構(gòu)