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半導(dǎo)體專用高溫真空箱

本設(shè)備適用于航空、汽車、工礦企業(yè)、家電、實(shí)驗(yàn)室、科研單位及大專院校等領(lǐng)域?qū)ζ洚a(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗(yàn)、無氧處理,高溫去應(yīng)力、高溫固化等應(yīng)用。


半導(dǎo)體專用高溫真空箱

  產(chǎn)品參數(shù):

應(yīng)用領(lǐng)域

本設(shè)備適用于航空、汽車、工礦企業(yè)、家電、實(shí)驗(yàn)室、科研單位及大專院校等領(lǐng)域?qū)ζ洚a(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗(yàn)、無氧處理,高溫去應(yīng)力、高溫固化等應(yīng)用。

工作原理

操作屏設(shè)定工作真空度與溫度值,控制系統(tǒng)發(fā)出指令電磁閥與真空泵自動(dòng)工作,到達(dá)設(shè)定壓力值真空系統(tǒng)停止工作,放氣電磁閥自動(dòng)打開解除真空。當(dāng)溫度未達(dá)到設(shè)定值時(shí)繼續(xù)給加熱器系統(tǒng)指令,加熱板溫度到達(dá)后可選擇保溫,保溫終了,當(dāng)設(shè)定值小于測(cè)量值時(shí),控制器給冷卻循環(huán)系統(tǒng)指令,自動(dòng)降溫開始,到達(dá)設(shè)定值是保持或者繼續(xù)降溫。

產(chǎn)品名稱

真空烘箱

控溫范圍

RT+15400

可長(zhǎng)期使用環(huán)境350

溫度分辨率

±0.1

溫度波動(dòng)度

 ±0.3

傳感器精度

±0.1

溫度均勻度

±5單一隔板表面溫度(溫度到達(dá)穩(wěn)定60min后加熱板表面的溫度一致性更佳)

加熱層板間溫度誤差

±2%

腔體表面溫度

室溫+15~20左右(鉸鏈與腔體加熱邊緣溫度除外)

氧氣含量

在線檢測(cè)范圍1ppm~25%

氧氣精度

0~1000ppm±1ppm,1%~25%±0.1%

氧氣傳感器壽命

3~5年

真空度控制范圍

0-99.99KPa

設(shè)計(jì)極限真空度

10Pa

真空度精度

±10%Pa

真空壓力定義

絕對(duì)壓力

真空解除

運(yùn)行時(shí)間結(jié)束自動(dòng)解除真空

PLC界面點(diǎn)動(dòng)解除真空

獨(dú)立的機(jī)械手動(dòng)閥門解除真空

備注:解除真空可采用進(jìn)入空氣也可選用氮?dú)膺M(jìn)入解除

過壓力控制

頂部增加排氣電磁閥,當(dāng)墻體內(nèi)部超出極限壓力值自動(dòng)打開過壓力電磁閥泄壓。

氮?dú)饬髁靠刂?/span>

一檔、500~5000ml/min手動(dòng)可調(diào)

二檔、1L~10L/min手動(dòng)可調(diào)

備注:流量調(diào)節(jié)表安裝在設(shè)備操作面板方面調(diào)節(jié)。

氮?dú)鈮毫z測(cè)

-100kpa~100kpa可設(shè)定,當(dāng)腔內(nèi)內(nèi)部氮?dú)庹龎毫Τ鲱A(yù)警壓力值自動(dòng)報(bào)警切斷進(jìn)氣閥門

氮?dú)膺M(jìn)氣控制

腔體底部進(jìn)氣,進(jìn)氣增加倒流板,防止粉末濺起。

真空計(jì)時(shí)自動(dòng)抽氣

通過PLC繼電器來控制自動(dòng)抽真空,且實(shí)現(xiàn)延時(shí)抽真空及定時(shí)開關(guān)機(jī)。抽氣管路裝有電磁閥。可設(shè)置定時(shí)開啟真空泵,自動(dòng)抽氣,定時(shí)停機(jī)功能,數(shù)據(jù)記錄儲(chǔ)

真空度檢測(cè)方式

數(shù)字顯示真空度值(皮拉尼壓力傳感器)

溫度控制器

高精度微電腦PLC程序控溫儀,具備12個(gè)溫度模塊控制通道,溫度獨(dú)立控制,采用PID與經(jīng)驗(yàn)值模糊控制技術(shù),控溫精確、波動(dòng)度小,工作溫度任意設(shè)定,數(shù)據(jù)記錄儲(chǔ)存,USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能,故障報(bào)警查詢功能。 

程序設(shè)定

PLC界面具備選擇固定值的溫度與真空度模式與分段保溫或者溫度斜率控制模式兩組。

數(shù)據(jù)儲(chǔ)存

各通道運(yùn)行溫度、真空度、時(shí)間自動(dòng)記錄,可查詢,可USB拷貝

通訊方式

R485/232通訊協(xié)議與通訊接口(可選用以太網(wǎng)口連接通訊,對(duì)接上位機(jī)系統(tǒng))

控制系統(tǒng)權(quán)限管理

一級(jí)權(quán)限為操作員可以啟動(dòng),停止,查看運(yùn)行數(shù)據(jù)界面

二級(jí)權(quán)限為技術(shù)員修改溫度與真空度運(yùn)行參數(shù),修改歷史記錄與運(yùn)行模式等

三級(jí)權(quán)限為工程師修改設(shè)備原始性能參數(shù) 

物料掃碼

設(shè)備增加紅外線掃碼槍,可實(shí)現(xiàn)條形碼與二維碼識(shí)別,掃入后自動(dòng)進(jìn)入控制系統(tǒng),通過后期的上位機(jī)系統(tǒng)查詢料單批次。 

溫度用時(shí)

室溫~30060min(溫度分布點(diǎn)在真空狀態(tài)略滯后)

升溫速率

1~5/min

降溫速率

0.5~3/min

備注:300時(shí)降到50用時(shí)約70min(指加熱板表面溫度)

溫度檢測(cè)

檢測(cè)記錄儀采用彩色觸摸屏界面

每層加熱板內(nèi)部實(shí)時(shí)檢測(cè)到4個(gè)點(diǎn)溫度值,含主控溫檢測(cè)1個(gè)點(diǎn)

檢測(cè)傳感器采用PT100型熱電偶

記錄數(shù)據(jù)具備USB拷貝功能 

真空度形成用時(shí)

小于5~10分鐘

真空度解除用時(shí)

小于3~5分鐘

升溫烘干、抽真空計(jì)時(shí)、過濾冷凝、真空保持、自動(dòng)解除真空

可進(jìn)行預(yù)加熱、抽真空時(shí)間設(shè)定,保壓保溫時(shí)間設(shè)定、低溫冷凝收集、工作結(jié)束進(jìn)氮?dú)馀c冷卻閥打開冷卻水循環(huán)降溫或氮?dú)獗Wo(hù)降溫,同時(shí)具備聲光提醒可定義

控制過程

打開門——掃描槍掃入物料條形碼——設(shè)備啟動(dòng)——抽真空——進(jìn)氮?dú)狻檎婵辗磸?fù)——含氧量達(dá)標(biāo)——充氮?dú)饧訜衢_始——溫度到達(dá)抽真空——工作倒計(jì)時(shí)——降溫循環(huán)開啟——到達(dá)溫度設(shè)定值——取出物料一個(gè)循環(huán)終了 

箱體結(jié)構(gòu)

采用臥式腔體設(shè)計(jì),左側(cè)為高溫真空腔體,右側(cè)為電器控制系統(tǒng)、散熱風(fēng)冷循環(huán)冷卻水路系統(tǒng),腔體內(nèi)有十二組加熱板組合,十二層不銹鋼可活動(dòng)托盤、真空泵、加熱散熱冷凝器、冷卻管路與顆粒物過濾器安裝在側(cè)面電器柜內(nèi),腔體內(nèi)設(shè)有抽氣口、放氣口、氮?dú)膺M(jìn)氣口、抽氣真空閥安裝在箱體底部后背,排氣閥安裝頂部。 

材料

優(yōu)質(zhì)A3/厚度1.5mm冷軋鋼板100*100*80mm槽鋼焊接而成,表面靜電噴塑

內(nèi)材料

優(yōu)質(zhì)SUS316L/厚度3.0/5.0mm鏡面不銹鋼板,表面拋光處理

箱門結(jié)構(gòu)

槽鋼與不銹鋼板連接制成(無觀察窗功能)

手動(dòng)緊迫鎖緊

電磁鎖緊 

門封材料

箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型日本進(jìn)口T型硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度(具備冷卻水循環(huán)密封圈)

保溫材料

耐高溫陶瓷纖維

隔熱層厚度不小于120mm

溫度傳感器

高溫PT100/K型熱電偶

真空度傳感器

電子真空計(jì)

氧氣傳感器

工業(yè)級(jí)氧化鋯

使用現(xiàn)場(chǎng)需要具備條件

1、電源插頭工業(yè)級(jí)五芯32A,銅芯線徑不小于10平方。

2、氮?dú)夤艿赖獨(dú)庠础?/span>

3、氮?dú)鉁p壓裝置氣壓不小于0.2MPa

4、冷卻水源管道,進(jìn)水壓力0.3~0.4MPa,水溫15~20℃,進(jìn)水水質(zhì)最好含水垢較少的純化水,以免后期高溫冷卻時(shí)管路堵塞。

5、氮?dú)獯党鰪U氣回收管道(現(xiàn)場(chǎng)具備負(fù)壓廢氣回收系統(tǒng))。

6、冷凝水收集口或管道

7、壓縮空氣氣壓不小于0.3MPa

8、腔體降溫冷卻水冷管道系統(tǒng)

9、真空泵排煙氣現(xiàn)場(chǎng)回收負(fù)壓收集系統(tǒng)。

保護(hù)與警報(bào)裝置

1、獨(dú)立超溫報(bào)警切斷加熱電源

2、漏電保護(hù)

3、斷阻絲報(bào)警

4、真空泵過熱過載保護(hù)

5、馬達(dá)過熱過載保護(hù)

6、過流檢測(cè)

7、相序保護(hù)器

8、氮?dú)膺^壓力報(bào)警保護(hù)

9、電器箱煙霧檢測(cè)報(bào)警

10、欠溫度報(bào)警

11、欠真空度報(bào)警

12、進(jìn)氣欠壓力報(bào)警

13、冷卻水流量報(bào)警

14、接地等保護(hù)

15、水位檢測(cè)

16、水壓報(bào)警 

三色燈報(bào)警定義

綠色燈點(diǎn)亮為運(yùn)行正常

黃色燈點(diǎn)亮待機(jī)狀態(tài)

紅色燈點(diǎn)亮為異常報(bào)警 

加熱方式

獨(dú)立隔板加熱板加熱

 

1、獨(dú)立316L不銹鋼材質(zhì)加熱板,將樣品直接擺放,最大負(fù)20Kg

2、加熱板內(nèi)安裝冷卻水管路系統(tǒng)

3、冷卻水管路采用并聯(lián)工藝(增加分水器裝置),使每個(gè)冷卻板得到冷水一致

  

標(biāo)配12塊不銹鋼托盤

316L材質(zhì)厚度1.5mm板

要求托盤表面與加熱板接觸無縫隙或者縫隙做到最低

設(shè)計(jì)最大負(fù)20Kg

托盤均布劃分25個(gè)方格,每個(gè)方格尺120*120mm

每個(gè)托盤采用ABC英文字母激光標(biāo)記

每個(gè)方格采用123數(shù)字標(biāo)記 

降溫方式

冷卻水降溫,設(shè)計(jì)進(jìn)水溫度不高于20,自動(dòng)循環(huán)降溫,廢水不回收

預(yù)留可升級(jí)的現(xiàn)場(chǎng)安裝冷水機(jī)降溫機(jī)組功能。

升溫方式

獨(dú)立不銹鋼板,內(nèi)部組裝不銹鋼加熱管。

冷凝水撲水器

溫度控制范圍:室溫~-10,冷凝水收集容積15升,具備收到排水閥,可實(shí)現(xiàn)兩臺(tái)真空泵共用。

真空系統(tǒng)

建議選用高效率雙級(jí)旋片式泵抽氣能力8L/S/1臺(tái)油型(非腐蝕型)

防噴油裝置

3、廢氣連接管路

4、放氣與進(jìn)氣電磁閥件

5、抽氣壓差閥件

6、單向閥

7、雜物過濾裝置

8、KF真空波紋抽氣冷卻管

充氣裝置

設(shè)備預(yù)留干燥氣體注入接口開關(guān)閥件功能

機(jī)器底部安裝有4個(gè)移動(dòng)腳輪,具備剎車功能,帶水平調(diào)節(jié)

加熱功率

25KW

 

AC380V/50HZ三相五線制

設(shè)備自重設(shè)備自重1205Kg

主要配件品牌

漏電保護(hù)器:施耐德

接觸器:施耐德

保險(xiǎn)絲:正泰電器

計(jì)時(shí)器:正泰電器

固態(tài)繼電器:歐姆龍

主控PLC控制系統(tǒng):臺(tái)灣臺(tái)達(dá)

彩色觸摸屏:臺(tái)灣臺(tái)達(dá)

溫度監(jiān)控儀:日本歐姆龍

溫度傳感器:三星電子

真空壓力傳感器:絕壓型0--100KPa更宜電子

氮?dú)鈮毫Γ喝毡舅上?/span>

加熱管:無錫楊市

電磁閥:KF40雅德客(304不銹鋼材質(zhì))

油型真空泵:D40C萊寶真空泵

氧氣檢測(cè)傳感器:愛爾蘭進(jìn)口“NTRON

殘留水吹掃裝置:不銹鋼定制

銹鋼外腔體冷卻管路系統(tǒng):不銹鋼定制

廢氣冷凝氣水分離器:不銹鋼定制

集中供水分配器:不銹鋼定制

氣體分配器:不銹鋼定制

控制系統(tǒng)

1、控制系統(tǒng)采用氧含量設(shè)定值控制,例如設(shè)定10PPm,真空系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)經(jīng)反復(fù)抽氣與進(jìn)氮?dú)夂笄惑w內(nèi)氧含量值到達(dá)設(shè)定值后加熱啟動(dòng)。

2、增加腔體各冷卻管路內(nèi)殘留水吹掃,例如一爐生產(chǎn)降溫結(jié)束后冷卻液體進(jìn)入到達(dá)目標(biāo)后冷卻液停止供液,第二次運(yùn)行啟動(dòng)時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別氮?dú)忾y門打開將殘留液體吹掃干凈,避免產(chǎn)生高壓蒸汽。

3、腔體外壁增加不銹鋼冷卻水降溫捆綁系統(tǒng),當(dāng)一爐結(jié)束時(shí)該降溫系統(tǒng)自動(dòng)打開冷卻液進(jìn)入降溫。(排水口散熱時(shí)處于高溫高壓應(yīng)妥善導(dǎo)流出去)

4、高壓蒸汽排出進(jìn)入冷凝氣水分離裝置,自動(dòng)控制液位后回收大系統(tǒng)。

5、增加氧含量監(jiān)控實(shí)時(shí)記錄功能