負(fù)壓內(nèi)循環(huán)真空烘箱 實(shí)時(shí)監(jiān)控氧含量濃度 半導(dǎo)體行業(yè)專用真空箱

半導(dǎo)體專用新型真空烘箱，升溫降溫可控，實(shí)時(shí)監(jiān)測氧含量濃度，負(fù)壓內(nèi)微循環(huán)，自主研發(fā)全套臺(tái)達(dá)PLC控制系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

內(nèi)膽尺寸:470*450*450 (寬*深*高) 

溫度范圍:室溫~200℃

溫度波動(dòng)度:0.2℃

升溫速率:室溫~150℃/30min

降溫速率:150C~60℃/30min

真空度:極限 100Kpa~0.1KPa 絕壓型

抽氣速率:02KPa/5min

真空泄漏率:24h/0.7kpa

真空度釋放:5~15min 手動(dòng)可調(diào)，破真空可切換氮?dú)饣蚩諝?/span>

氧濃度:1000ppm 以下

電壓:380V/50HZ

功率:5.5KW

氮?dú)饬髁?10~100L/min(手動(dòng)流量計(jì)控制)

隔板:3 塊(123mm 三層，每層隔板最大承重 20KG)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  采用PLC 觸摸屏，內(nèi)加熱快速升溫水冷卻管道快速降溫，數(shù)字壓力傳感器，旋片油泵，氧含量濃度檢測，三色燈，獨(dú)立接口氮?dú)庹龎毫ΡO(jiān)控器連接電磁閥釋放氣體。

  控制邏輯:觸摸屏控 SSR 溫度接觸器運(yùn)行，抽氣運(yùn)行，放氣自動(dòng)，溫度與真空度分段循環(huán)設(shè)置，先真空度達(dá)到與氧氣濃度到達(dá)后保持再氮?dú)馄普婵蘸鬁囟壬郎卦俦３?/span>

  立式結(jié)構(gòu)，腔體在上部，腔體內(nèi)有循環(huán)風(fēng)機(jī)加熱管，冷卻管道風(fēng)道板，儀表在中部，底部真空

  工作室材料:內(nèi)膽不銹鋼拉絲板

  抽氣波紋管，不銹鋼壓差閥，氮?dú)鉁p壓閥與流量計(jì)，小型抽氣過濾罐，排氣油霧過濾器

  USB 接頭，啟動(dòng)電源開關(guān)，報(bào)警指示燈

  數(shù)字獨(dú)立限溫保護(hù)，接地保護(hù)，漏電保護(hù)，真空泵過熱保護(hù)，循環(huán)電機(jī)過載保護(hù)